Diseño y Construcción de un Sensor de Gas con Películas Delgadas de Óxidos Metálicos.
Palabras clave:
Sensor de Gas, Película delgada, Sputtering
Resumen
En este trabajo se presenta el proceso de diseño y construcción de un sensor de gas basado en películas delgadas de óxidos metálicos, se hace un análisis de los diferentes materiales y tecnologías que se han desarrollado para la fabricación de sensores de gas; se presenta la metodología que se sigue para el desarrollo del sensor, el depósito de películas delgadas por Sputtering, diseño de software para el corte por láser del patrón de rayado el cual se realiza sobre una película delgada de ITO en un sustrato de vidrio al que posteriormente se le deposita la película del óxido conductor, el análisis de los procesos y las películas depositadas por medio de técnicas como: difracción de rayos X, microscopia electrónica de barrido e imágenes EDS; se presenta la metodología propuesta para las pruebas de sensibilidad y conductividad eléctrica del material y el circuito de acondicionamiento de señal propuesto. Teniendo como objetivo la construcción del sensorCitas
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Publicado
2017-12-29
Número
Sección
Artículos de Investigación
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