Estimación de la conductividad térmica a partir de mediciones eléctricas usando la ley de Wiedemann-Franz para películas delgadas de tungsteno
Palabras clave:
Películas delgadas de tungsteno, RF magnetron sputtering, conductividad eléctrica, conductividad térmica, Ley de Wiedemann-Franz
Resumen
Usando RF sputtering se depositaron películas delgadas de tungsteno sobre sustratos de vidrio variando la presión de argón de 5 a 35 mTorr. Se determinaron experimentalmente en un sistema Hall las propiedades eléctricas de las muestras, encontrándose concentraciones de portadores del orden de 1022 huecos/cm3. Se midieron las conductividades eléctricas y se correlacionaron con los mecanismos de transporte del tungsteno erosionado en el gas de fondo. Utilizando estos valores se calcularon las conductividades térmicas por medio de la relación de Wiedemann-Franz. Los resultados obtenidos se encuentran dentro del rango reportado por otros autores, sugiriendo que las películas delgadas de tungsteno crecidas a bajas presiones de argón pueden utilizarse como parte de multicapas absorbedoras en colectores solares.
Citas
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Publicado
2019-09-10
Sección
Artículos de Investigación
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